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PI軸六腳架的應(yīng)用領(lǐng)域 H-850 6軸六腳架 承重達(dá)250公斤 重復(fù)性達(dá)±0.2 µm 行程范圍為±50毫米/±30° 執(zhí)行器分辨率達(dá)2.5 nm BLDC電機(jī)和電機(jī)的變體